静态氮吸附比表面积及孔径分析仪是一个密闭的真空系统，通过吸附质的绝对压力控制吸附压力，真空度是重要的，首先真空度高是微孔测试的必要条件，其次真空条件是脱气处理的必要条件，化学吸附仪供应商因此也是准确测定比表面及孔径分析的必要条件。

这里真空度是指吸附系统的实际真空度，而不是真空泵的极限真空度，所以真空度好，包含了对真空系统要求。对于一般比表面及介孔孔径分析，采用双极机械泵，极限真空不低于10-1即可满足要求，化学吸附仪供应商对于微孔分析，最好采用分子泵，以获得更高的真空度。